WUC-10、WUC-15和WUC-16型是结构特别紧凑的超高纯度传感器,用于测量半导体行业超纯气体的压力,尤其适用于危险区域。与介质接触的部件包括符合SEMI F20标准的电抛光不锈钢316L和特殊的2.4711/UNS R30003薄膜传感器。传感器具有出色的电磁兼容稳定性以及多种电气连接和过程连接。侧面的电位器便于使用,可方便地进行调零。每个传感器都经过密封性和准确性检查。
安全、快速可用
WUC系列产品在无尘室条件下生产,并受到严格监控。庞大的生产能力保证了大批量客户的最大交货可靠性。这样可以节省时间、降低风险并提高生产率。
专为危险区域的应用而开发
WUC系列专为危险区域而开发,通过了多项当地和国际防爆认证。
可变: 设计紧凑,配置多样
WUC系列的栅格尺寸为28.4 mm [1 ⅛ in],符合行业标准,安装高度低,电气连接和过程连接范围最广。采用高度自动化生产个性化配置的解决方案。
即使在温度波动较大的情况下也能进行精确测量
主动温度补偿可检测高波动(周期性压力冲洗、高气体节流值、焦耳-汤姆逊效应)并将影响降至最低。因此,可在-20 ... +80 °C [-4 ... +176 °F]范围内实现稳定测量。